
简要描述:钙钛矿镀膜设备主要由有机/金属源蒸发沉积室、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、样品加热控温、电控系统、配气系统等部分组成。
产品型号:
厂商性质:生产厂家
更新日期:2025-08-11
访 问 量:1492
| 功能特点 |
|---|
| 技术参数 | |
|---|---|
| 镀膜室 | 不锈钢材料,采用方形前后开门结构,内带有防污板,腔室尺寸约为600mm×450mm×450mm |
| 真空排气系统 | 采用分子泵+机械泵系统 |
| 真空度 | 镀膜室极限真空≤6×10-4Pa |
| 系统漏率 | ≤1×10-7Pa |
| 蒸发源 | 安装在真空室的下底上;有机蒸发源4个、容积5ml,2台蒸发电源,可测温、控温,加热温度400℃,功率0.5KW;无机蒸发源4套、容积5ml,2台蒸发电源,加热电流300A,功率3.2KW;蒸发源挡板采用自动磁力控制方式控制其开启 |
| 样品架 | 安装在真空室的上盖上,可放置Ø120mm的样品、载玻片,旋转速度0-30rpm |
| 加热温度 | RT-180℃,测温、控温 |
| 膜厚控制仪 | 石英晶振膜厚控制仪,膜厚测量范围0-999999Å |